電子顕微鏡(SEM)
試料表面に電子線を走査させることにより、材料の表面形態を拡大観察特に蒸着などの前処理が不要、元素分析機能無し

電子顕微鏡(SEM)

3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡
(VE-8800SP1849)
株式会社キーエンス社製
倍率:15〜100000倍
観察範囲:9(H)×7(V)o〜1.3(H)×1(V)μm
分解能30nm
観察像2次電子像
観察モード:高真空
表示分解能:観察時640(H)×480(V)
撮影時1280(H)×960(V)
フレームレート:4.5F/S(観察時)
画像保存形式:TIFF、JPG
加速電圧:0.5〜20kV
電子銃:タングステンヘアピン・アジャストメントフリーカートリッジ式
最大試料サイズ:φ64o

[ウィンドウを閉じる]