電子顕微鏡(SEM) |
試料表面に電子線を走査させることにより、材料の表面形態を拡大観察特に蒸着などの前処理が不要、元素分析機能無し |
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3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡 (VE-8800SP1849) 株式会社キーエンス社製
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倍率: | 15〜100000倍 |
観察範囲: | 9(H)×7(V)o〜1.3(H)×1(V)μm |
分解能 | 30nm |
観察像 | 2次電子像 |
観察モード: | 高真空 |
表示分解能: | 観察時640(H)×480(V) 撮影時1280(H)×960(V) |
フレームレート: | 4.5F/S(観察時) |
画像保存形式: | TIFF、JPG |
加速電圧: | 0.5〜20kV |
電子銃: | タングステンヘアピン・アジャストメントフリーカートリッジ式 |
最大試料サイズ: | φ64o |
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